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光譜共焦傳感器又名共焦傳感器,共聚焦傳感器,白光色散傳感器。光譜共焦位移傳感器是一種通過光學(xué)色散原理建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系,利用光譜儀解碼光譜信息,從而獲得位置信息的裝置。
當被測物處于測量范圍內(nèi)某一位置時,只有某一波長的光聚焦在被測面上,該波長的光由于滿足共焦條件,可以從被測物表面反射回光纖耦合器并進入光譜儀,而其他波長的光在被測物面表面處于離焦狀態(tài),反射回的光在光源處的分布遠大于光纖纖芯直徑,所以大部分光線無法進入光譜儀。通過光譜儀解碼得到光強大處的波長值,從而測得目標對應(yīng)的距離值。由于采用了光譜共焦傳感器,因此該方法具有良好的層析特性,提高了分辨力,并且對被測物特性和雜散光不敏感。
光譜共焦傳感器具有*的測量能力,可以穩(wěn)定的測量任何材質(zhì)(如,鏡面、玻璃、不銹鋼、白色陶瓷、高光金屬、基板等)無論什么表面均可在1μm內(nèi)穩(wěn)定測量。即使多種材質(zhì)存在,用同一安裝方式也可以穩(wěn)定測量。
光譜共焦傳感器具有*的角度特性,可測傾角87°
角度特性是指可測量樣品的大傾角。激光位移傳感器測量非平面時,因回光產(chǎn)生相差無法準確測量傾斜或曲面,采用光譜共焦測量技術(shù)可以保證即使被測物存在過大傾角或曲面,也可以進行高精度的形狀測量。針對漫反射表面光譜共焦位移傳感器測頭可以達到±87°,針對鏡面反射光譜共焦位移傳感器各種測頭基本都可以達到±20°以上。角度特性差會導(dǎo)致眾多異形位置無法正常測量。測量非平面表面,尤其針對3D玻璃輪廓、點膠膠水高度及高光金屬表面段差時,必須使用光譜共焦傳感器。
鏡面、透明、半透明體表面也可以有*的角度特性,使用光譜共焦傳感器,無需嚴格的角度調(diào)整就可以進行高精度測量。即使被測物在運動過程中的跳動也不會對測量造成過大的影響。光譜共焦傳感器可高精度測量透明體厚度,并可同時測量不同層面位置值。透明體上下表面均會有一個焦點存在,獲取上表面和下表面位置值,上下表面的位置差即是透明體的厚度值。
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